德国Thyracont真空计在半导体行业的应用

德国Thyracont公司致力于研发和生产智能真空测量仪表以及控制仪表

我们的产品组合包括真空传感器、真空传感器、真空计、真空开关、控制器以及附件和真空组件。Thyracont真空计包括了薄膜规，电容规，电阻规，皮拉尼，热阴极，冷阴极，以及复合真空规，满足不同量程的需求。

图拉特thyracont真空产品应用于半导体行业：

晶圆键合是半导体技术中的一个程序步骤，将两个晶圆连接在一起。对于某些应用，如芯片传感器的封装，该过程是在真空下进行的。

加载时，粘结室通过粗加工泵在旁路连接中抽真空，直到达到真空度，此时系统可以平稳切换到高真空泵。然后在高真空条件下进行粘合过程。在抽真空过程中，必须精确控制旁路中的绝对压力，以防止损坏高真空系统。在晶圆键合过程中，必须监测腔室内的真空度，以保证所需的结果。

VSC43MA4型粗真空传感器用于控制旁路循环。其陶瓷传感器以所需的精度测量绝对压力，并且几乎无需维护。粘合过程的过程压力通过带有皮拉尼/冷阴极组合传感器的VSM传感器进行监控。

紧凑型VSC43压电传感器用于测量粗真空范围内的绝对压力。由于其耐用的陶瓷传感器，它对污垢和污染几乎不敏感

VSC43真空计

耐化学腐蚀：带氟橡胶密封的陶瓷传感器

可靠：高可靠性和长期稳定性

独立：测量不受气体类型的影响

快速：响应时间短，可达 20 ms

坚固耐用： 耐脏污

可根据要求提供控制器：适用于 Thyracont 1 和 2 通道控制器 VD6 / VD12

标准化线性输出信号 0-10 V（四线）或 4-20 mA（两线）

带皮拉尼/冷阴极传感器的VSM真空传感器：

· 长寿命：通过皮拉尼自动控制冷阴极，冷阴极在低压下接通可延长使用寿命，对空气涌入不敏感

· 可靠： 出色的点火性能

· 低杂散磁场

· 超压稳定：过压稳定性高达 16 bar

· 金属密封不锈钢传感器单元，适用于特高压应用（浸出率<5e-10毫巴升/秒）

· 防护等级高达 IP54

· 多种接口：数字RS485接口加上0-10 V输出信号，EtherCAT或PROFINET。

· 继电器开关点：两个独立的、无电势的继电器开关点