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德国inficon高温压力计CDG160D
inficon高温压力计CDG160D功能简介:
INFICOSKY CDG160D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C,具有性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICO电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICOCDG 压力传感器品质,成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
inficon高温压力计CDG160D优点
² 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
² 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
² 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
² 诊断端口便于快速服务与维护
² 两年保修服务、加热概念和真空计保护延长了使用寿命
² 信号稳定性和可重复性,即使是最严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准
² 合规和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS
inficon高温压力计CDG160D典型应用
ü ECT、CTD、PVD和其他半导体生产工艺
ü 化学和腐蚀性高温过程
ü 一般薄膜和真空工艺,需要仪表保护
inficon高温压力计CDG160D规格
Ø 准确性阅读%:0.4
Ø 精度%:0.003
Ø 输出信号(模拟)V (dc):0.. +10
Ø 响应时间:30ms
暴露于真空的材料:Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L )